仪器名称：场发射扫描电子显微镜
仪器简介
英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope
规格型号：Regulus8100
生产厂家：日本日立公司
单 价：300万元
安装日期：2018年6月
仪器配置
仪器配置：
电镜主体(含计算机一台)、绝缘气体(SF6气体)、相配套的稳压电源及循环冷却水箱作为必备配置，由电镜厂家提供。
灯丝：场发射灯丝。
能谱仪：美国布鲁克XFlash 6
离子溅射仪：日本日立MC1000
备品备件（1套）。
技术参数：
分辨率：0.8nm (15 kV)； 1.1nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式)；
放大倍数：30倍-800,000倍 ；
加速电压：:0.5-30kV (0.1KV/步，可变，普通模式)
着陆电压：0.1~2 kV
消像散器：八级电磁系统（X，Y）
探测器：低位（Lower）和高位（Upper）
样品台： X: 0-50mm Y: 0-50mm, Z:1.5-30mm, T: -5-70°,R:360°,
样品尺寸最大直径：100mm（标准）
信号选择：二次电子模式和背散射模式，X射线信号，辅助信号。
主要功能
扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)；显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析；用x射线能谱仪或波谱(EDS)采集特征x射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析，相鉴定；利用背散射电子（BSE）基于平均原子序数（一般和相对密度相关）反差，生成化学成分相的分布图像。
应用范围
扫描电子显微镜最基本的用途是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色，观察可以是一个样品的表面，也可以是一个切开的面，或是一个断面，配备的能谱仪能分析样品中的元素组成。常应用于材料学，生物学，地质学，冶金学等。
